可配置液體或氣體樣品
可實(shí)現(xiàn)標(biāo)樣加濕功能
兩級高精度MFC控制
稀釋比高
全自動運(yùn)行，直接讀取濃度，ppm，ppb或ppt
可針對不同用戶的稀釋要求定制產(chǎn)品
KHK 6100E半導(dǎo)體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng)，是一款具有高精度高稀釋比的升級產(chǎn)品，可稀釋2到15種不同氣體，稀釋比可達(dá)到1:10000，二級稀釋，高精度，帶有加濕功能，可用于傳感器生產(chǎn)商，半導(dǎo)體生產(chǎn)商的產(chǎn)品測試及科研院所的科學(xué)研究。可根據(jù)用戶要求定制。
儀器特點(diǎn)
苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他;
帶有加濕功能，可控制稀釋后氣體濕度
高精度質(zhì)量流量計（MFC），配制氣體濃度精準(zhǔn)
可選配液體標(biāo)樣稀釋模塊
儀器功能
1、單一/混合氣體配制
通過質(zhì)量流量控制器（MFC）順序連接兩種或多種標(biāo)準(zhǔn)氣體，如順序稀釋或產(chǎn)生混合氣體。可以單獨(dú)稀釋多種標(biāo)準(zhǔn)氣體，也可以通過同時稀釋多種的標(biāo)準(zhǔn)氣體來產(chǎn)生混合氣體。
2、蘇瑪罐罐沖
該系統(tǒng)配備了壓力傳感器，以精確的壓力將稀釋氣體引入罐中。
3、控制溫度和濕度
自動調(diào)節(jié)溫度和濕度，在各種條件下連續(xù)產(chǎn)生氣體。
4、液體標(biāo)樣氣化稀釋
可選配液體標(biāo)樣稀釋模塊
5、顆粒物發(fā)生裝置
可選配顆粒物發(fā)生裝置，模擬各種工況
以上功能均可根據(jù)客戶實(shí)際需求組合定制。
應(yīng)用：
傳感器生產(chǎn)商
半導(dǎo)體生產(chǎn)商
科研院所
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